Systém molekulární svazkové epitaxe a epitaxe z organokovů (MBE/MOVPE)

Zařízení pro epitaxi z molekulárních svazků umožnuje přípravu tenkovrstvých monokrystalických polovodičů typu III-V. Kromě klasických struktur a heterostruktur na bázi GaAs a AlGaAs lze připravit i struktury obsahující feromagnetický polovodič (Ga,Mn)As a další materiály pro výzkum v oblasti spintroniky. Systém zahrnuje rovněž aparaturu pro alternativní přípravu tenkovrstvých struktur pomocí epitaxe z par organokovových sloučenin.

Objednat